外軸封失效、油杯無油、油孔悶頭漏氣也可造成外漏。內漏可由泵內的運動間隙、排氣閥座平面、排氣閥的密封面、內軸封、泵蓋平面、進氣管、氣鎮(zhèn)閥密封件等引起。磨損、腐蝕、咬合會使運轉間隙加大。油孔阻塞時，打開加油孔聽，泵的噪聲會較輕，在油箱密封良好的情況下，如果手在排氣口上有被吸的感覺，排氣閥可能失效。如果泵油清潔，長期存放未用，可開氣鎮(zhèn)閥凈化泵內水汽。若無效，要檢杏儀表。若泵油發(fā)黃發(fā)白已乳化，可全開氣鎮(zhèn)，調大氣鎮(zhèn)量凈化運轉，必要時可在泵口放入適量氣體運轉，可加快凈化過程。若抽入其他揮發(fā)性氣體或液體。
要及時換油，必要時請洗油箱。有些泵，在級間氣道里會沉積泵液，為取得好的換油效果，要設法把沉積泵液排出。極限壓力是用座式壓縮式真空計測量的。用經校準的熱偶真空計等全壓力計測量時，測得值會增加。注意熱偶真空計的規(guī)管要配對校準。建議備用一只同時校準的規(guī)管，以備懷疑規(guī)管污染失真時進行對比。極限壓力升高會使高真空時段的抽氣效率下降，也會使極限全壓力升高?？梢詤⒄丈鲜鼋榻B來判斷、檢查、處理抽氣效率下降和極限全壓力升高的故障。（7）噪聲。泵的結構設計，電機與泵軸承的噪聲，旋片等運動件是否滑暢、進油量太多、風扇、傳動件產生的噪聲、進氣量大，開氣鎮(zhèn)運轉、擋油板等泵內零件松動，安裝不平等引起振動，都會影響泵的噪聲。