作為大氣污染的重要來源，工業(yè)廢氣的高校治理尤為重要。由于生產(chǎn)的工藝不同，工業(yè)廢氣產(chǎn)生的污染物種類也不同，不同污染物種類應采用不同的處理工藝。目前，市場上常見的工業(yè)廢氣治理技術主要有：干法脫硫、濕法脫硫、物理/化學吸收法、煙氣脫硝、稀釋法、堿液中和法等等, 由于使用不同的吸收劑可獲得不同的副產(chǎn)物而加以利用，因此濕法脫硫是各國研究多的方法。由于工業(yè)廢氣的成分越來越復雜，單一的廢氣處理技術方法很難達到理想的處理效果。業(yè)內人士認為，綜合兩種或兩種以上處理技術，以及占地空間小、處理效率高的設備將受到市場關注。 資料顯示，治理惡臭廢氣的核心技術是靜電等離子廢氣治理技術，輔助技術是酸堿洗滌技術和生物膜過濾技術。靜電等離子技術是靜電技術與等離子技術的完美結合的復合技術，將靜電技術的吸附和凝聚特性與等離子技術的荷電和裂解特性有機組合，形成了靜電等離子技術的四大技術優(yōu)勢：荷電、裂解、吸附和凝聚，而廢氣的凈化就是這四種特性共同作用完成的。

有機廢氣處理設備 吸收了VOCs的吸收劑通過熱交換器后，進入汽提塔頂部，在溫度高于吸收溫度或壓力低于吸收壓力的條件下解吸。解吸后的吸收劑經(jīng)過溶劑冷凝器冷凝后回到吸收塔。解吸出的VOCs氣體經(jīng)過冷凝器、氣液分離器后以較純的VOCs氣體離開汽提塔，被回收利用。該工藝適合于VOCs濃度較高、溫度較低的氣體凈化，其他情況下需要作相應的工藝調整。 有機廢氣處理設備 當吸附進行一段時間后，由于表面吸附質的濃集，使其吸附能力明顯下降而吸附凈化的要求，此時需要采用一定的措施使吸附劑上已吸附的吸附質脫附，以協(xié)的吸附能力，這個過程稱為吸附劑的再生。因此在實際吸附工程中，正是利用吸附一再生一再吸附的循環(huán)過程，達到除去廢氣中污染物質并回收廢氣中有用組分。 等離子體就是處于電離狀態(tài)的氣體，等離子體由大量的子、中性原子、激發(fā)態(tài)原子、光子和自由基等組成，但電子和正離子的電荷數(shù)必須體表現(xiàn)出電中性，這就是“等離子體”的含義。等離子體具有導電和受電磁影響的許多方面與固體、液體和氣體不同，因此又有人把它稱為物質的第四種狀態(tài)。 根據(jù)狀態(tài)、溫度和離子密度，等離子體通?？梢苑譃楦邷氐入x子體和低溫等離子體（包子體和冷等離子體）。其中高溫等離子體的電離度接近1，各種粒子溫度幾乎相同系處于熱力學平衡狀態(tài)，它主要應用在受控熱核反應研究方面。而低溫等離子體則學非平衡狀態(tài)，各種粒子溫度并不相同。其中電子溫度( Te)≥離子溫度(Ti)，可達104K以上，而其離子和中性粒子的溫度卻可低到300～500K