在國內根據(jù)低溫等離子體工業(yè)廢氣處理技術研發(fā)出相應的標準化廢氣治理設備，歸于根本是利用一些化學反應的化學鍵拆分，得到無害的氣體分子，從而達到環(huán)保排放煙氣的標準要求。具體是利用所產(chǎn)生的高能電子、自由基等活性粒子、電離、裂解工業(yè)廢氣中的各組成份，使之發(fā)生分解，氧化等一些列復雜的化學反應，再經(jīng)過多級凈化，從而各種污染源排放的異味、臭味污染物，使有毒有害氣體達到低毒化、化，保護人類生存環(huán)境。

低溫等離子體技術應用范圍廣，氣體的流速和濃度對于氣態(tài)污染物治理技術應用來說是兩個非常重要的因素。生物過濾和燃燒技術能應用于較高濃度范圍，但卻受氣體的流速所限。而低溫等離子體技術對氣體的流速和濃度都有一個很寬的應用范圍，低溫等離子設備其應用廣泛不言而喻。等離子體技術工藝簡單。吸附法要考慮吸附劑的定期更換，脫附時還有可能造成二次污染；http://www.wzyihong.com燃燒法需要很高的操作溫度；生物法要嚴格控制pH值、溫度和濕度等條件，以適合生物的生長。而低溫等離子體技術則較好的克服了以上技術的不足，反應條件為常溫常壓，反應器結構簡單，低溫等離子設備并可同時混合污染物(有些情況還具有協(xié)同作用)，不會產(chǎn)生二次污染等。就經(jīng)濟可行性來說，低溫等離子體反

低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質第四態(tài)，由電子、離子、自由基和中性粒子組成。低溫等離子體產(chǎn)品利用螺旋波低溫冷光技術產(chǎn)生的高能離子束和電子束形成的低溫等離子體，以每秒800萬次-5000萬次的速度反復轟擊異味氣體分子，去、電離、裂解廢氣中的各種成分，從而發(fā)生氧化等一系列的化學反應。等離子處理廢氣的原理如下：

1. 等離子通電后會形成一個1.5萬伏的高壓電場，廢氣在進入的時候被電離，分子鍵斷裂，廢氣分子被分解成高能電子。

2. 氧氣O2被電離成O- （游離態(tài)的氧原子），因游離氧所攜正負電子不平衡，所以需要與氧分子結合，進而產(chǎn)生臭氧O3。

3. 廢氣電子在O3 的作用下，被氧化成CO2 和H2O