集成電路被喻為現(xiàn)代工業(yè)的“糧食”，是信息技術產業(yè)的核心，是支撐經濟社會發(fā)展和保障 的戰(zhàn)略性、基礎性和先導性產業(yè)，被確定為 戰(zhàn)略先導產業(yè)。 　　經過多年發(fā)展，我國集成電路產業(yè)鏈已具有一定規(guī)模，但是關鍵器件還依賴國外進口。據(jù)海關總署數(shù)據(jù)顯示，2017年我國集成電路進口額達2601億美元，而出口僅為669億美元。 　　受“中興事件”和“中美貿易戰(zhàn)”的影響，我國集成電路產業(yè)發(fā)展再次成為媒體及行業(yè)關注的焦點。在進一步拉大的集成電路貿易逆差面前，我國集成電路產業(yè)自主可控的戰(zhàn)略可謂勢在必行。 　　為減少對外依賴，提高我國集成電路產業(yè)的整體競爭力， 和地方政府都在紛紛加碼支持集成電路產業(yè)發(fā)展。3月28日，財政部等四部門發(fā)布了《關于集成電路生產企業(yè)有關企業(yè)所得稅政策問題的通知》，規(guī)定符合相關條件的集成電路生產企業(yè)，多可享受“五免五減半”企業(yè)所得稅，為我國集成電路產業(yè)發(fā)展提供財政上的支持。 　　繼4月13日河北省財政廳發(fā)布《轉發(fā)關于集成電路生產企業(yè)有關企業(yè)所得稅政策問題通知》后，5月14日，河北省政府辦公廳發(fā)布《河北省人民政府辦公廳關于加快集成電路產業(yè)發(fā)展的實施意見》，強化對集成電路產業(yè)發(fā)展的政策支持。 　　2017年9月，杭州市政府印發(fā)《杭州市集成電路產業(yè)發(fā)展規(guī)劃》，提出“到2020年底，全市集成電路產業(yè)主營業(yè)務收入力爭達到500億元”的發(fā)展目標;近日，杭州市政府再次發(fā)布《杭州市進一步鼓勵集成電路產業(yè)加快發(fā)展的專項政策》，進一步扶持和鼓勵集成電路產業(yè)加快發(fā)展。 　　在 和地方政府的強力支持之下，我國集成電路產業(yè)也得到了加快發(fā)展。日前，從 發(fā)展和改革委員會獲悉，2018年1-5月份，我國集成電路制造業(yè)投資增長28.1%。 　　集成電路產業(yè)作為一個裝備與工藝高度融合的產業(yè)，其設計、制造、封測、材料設備等每個環(huán)節(jié)都至關重要。因此，在集成電路產業(yè)建設初期，勢必為相關儀器儀表企業(yè)帶來新的商機。 　　日前，福建省晉華集成電路有限公司通過中國電子進出口有限公司進行了一系列國際公開競爭性招標。招標產品包括聚焦離子束顯微鏡、球差校正穿透式電子顯微鏡、掃描式電子顯微鏡、電感耦合等離子體串聯(lián)質譜儀、全反射X射線熒光分析儀以及其他半導體晶圓檢測儀器設備等，共計80余包。所招標采購的儀器設備將用于新建12吋內存晶圓廠生產線FAB1生產線。 　　此外，集成電路產業(yè)在大發(fā)展的同時，也推動了我國集成電路封裝測試業(yè)的發(fā)展。7月6日晚，華天科技發(fā)布公告稱，為進一步完善產業(yè)布局，擬在南京投資新建集成電路先進封測產業(yè)基地項目。項目總投資80億元，分三期建設，主要進行存儲器、MEMS、人工智能等集成電路產品的封裝測試。 　　封裝測試是集成電路產業(yè)鏈必不可少的環(huán)節(jié)，而對集成電路進行封裝測試，則離不開集成電路測試儀器。集成電路測試儀器種類很多，包括直流參數(shù)測試儀、交流參數(shù)測試儀、功能測試儀等等。 　　集成電路測試儀器是對集成電路進行測試的專用儀器設備，是保證集成電路性能、質量的關鍵設備。因此，集成電路測試儀器在集成電路測試中受到很多封裝測試企業(yè)的重視。隨著集成電路封裝測試業(yè)的發(fā)展，集成電路測試儀器設備將迎來大批量的采購需求。 　　另外，集成電路作為儀器儀表的上游產業(yè)，是儀器儀表的重要組成部分，在很多儀器儀表中都會用到集成電路，可以說是儀器儀表設備的核心器件。因此，集成電路產業(yè)的發(fā)展不僅能帶動對相關儀器儀表的需求，也能推動儀器儀表設備的國產化進程。 　　集成電路產業(yè)和封裝測試業(yè)的發(fā)展，為儀器儀表企業(yè)提供了一個新的發(fā)展商機。儀器儀表企業(yè)要把握機遇，提早布局，針對集成電路的多樣性研發(fā)相應的儀器設備，助力我國集成電路產業(yè)的發(fā)展。

  圖1中的電路專為使用 ADT7320同時測量3個K型熱電偶而設計，該器件是一款±0.25°C精度、16位數(shù)字SPI溫度傳感器。   熱電偶電壓測量   采用熱電偶連接器和濾波器作為熱電偶與AD7793 ADC之間的接口。每個連接器（J1、J2和J3）都直接與一組差分ADC輸入相連。AD7793輸入端的濾波器可在號到達ADC的AIN （＋）和AIN（?）輸入端之前降低任何熱電偶引腳上疊加的噪聲。AD7793集成片內多路復用器、緩沖器和儀表放大器，可放大來自熱電偶測量結點的小電壓號。   冷結測量   ADT7320精密16位數(shù)字溫度傳感器用于測量基準結（冷結） 溫度，其精度在?20°C至＋105°C溫度范圍內可達±0.25°C。 ADT7320完全經過工廠校準，用戶無需自行校準。它內置一個帶隙溫度基準源、一個溫度傳感器和一個16位Σ-Δ型 ADC， 用來測量溫度并進行數(shù)字轉換， 分辨率為 0.0078°C。   AD7793和ADT7320均利用系統(tǒng)演示平臺 （EVAL-SDP-CB1Z）由SPI接口控制。此外，這兩個器件也可由控制器控制。   圖2. EVAL-CN0172-SDPZ電路評估板   圖2顯示帶有3個K型熱電偶連接器的EVAL-CN0172-SDPZ 電路評估板，AD7793 ADC， 和ADT7320溫度傳感器安裝在獨立柔性印刷電路板（PCB）的兩塊銅觸點之間，用于基準溫度測量。   圖3是安裝在獨立柔性PCB上ADT7320 的側視圖，該器件插在熱電偶連接器的兩個銅觸點之間。圖3中的柔性PCB更薄更靈活，比小型FR4類PCB更具優(yōu)勢。它允許將ADT7320巧妙地安裝在熱電偶連接器的銅觸點之間，以盡量降低基準結和ADT7320之間的溫度梯度。   圖3. 安裝在柔性PCB上ADT7320的側視圖   小而薄的柔性PCB還能使ADT7320快速響應基準結的溫度變化。 圖4顯示ADT7320的典型熱響應時間。   圖4.ADT7320典型熱響應時間   本解決方案較為靈活，允許使用其它類型的熱電偶，如J型或T型。本電路筆記中，選擇K型是考慮到其更受歡迎。實際選用的熱電偶具有裸露 。測量結位于探頭壁（probe wall）之外，暴露在目標介質中。   采用裸露 的優(yōu)勢在于，它能提供 的熱傳導率、具有快的響應時間，并且成本低、重量輕。不足之處是容易受到機械損壞和腐蝕的影響。因此，不適合用于惡劣環(huán)境。但在需要快速響應時間的場合下，裸露 是 選擇。若在工業(yè)環(huán)境中使用裸露 ，則可能需對號鏈進行電氣隔離。可使用數(shù)字隔離器達到這一目的 （見   不同于傳統(tǒng)的熱敏電阻或電阻式溫度檢測器（RTD）， ADT7320是一款完全即插即用型解決方案，無需在電路板裝配后進行多點校準，也不會因校準系數(shù)或線性化程序而消耗處理器或內存資源。它在3.3 V電源下工作時的典型功耗僅為700μW，避免了會降低傳統(tǒng)電阻式傳感器解決方案精度的自發(fā)熱問題。   精密溫度測量指南   下列指南可確保ADT7320地測量基準結溫度。   電源： 如果ADT7320 從開關電源供電，可能產生50 kHz以上的噪聲，從而影響溫度精度。為了防止此缺陷，應在電源和VDD. 之間使用RC濾波器。所用元件值應仔細考慮，確保電源噪聲峰值小于1 mV   去耦： ADT7320必須在盡可能靠近 VDD 的地方安裝去耦電容，以確保溫度測量的精度。使用諸如0.1μF高頻陶瓷類型的去耦電容。此外，還應使用一個低頻去耦電容與高頻陶瓷電容并聯(lián)，如10μF 至 50 μF 鉭電容。    熱傳導： 塑料封裝和背面的裸露焊盤（GND）是基準結至ADT7320的主要熱傳導路徑。由于銅觸點與ADC輸入相連，本應用中無法連接背面的焊盤，因為這樣做會影響 ADC輸入的偏置。   精密電壓測量指南   下列指南可確保AD7793地測量熱電偶測量結電壓。   去耦：AD7793必須在盡可能靠近AVDD 和 DVDD 的地方安裝去耦電容，以確保電壓測量的精度。應將0.1 μF陶瓷電容與 10 μF鉭電容并聯(lián)，將AVDD去耦到GND。此外，應將0.1 μF 陶瓷電容與10 μF鉭電容并聯(lián)，將DVDD去耦到GND。 更多有關接地、布局和去耦技巧的討論，請參考Tutorial MT-031 和 Tutorial MT-101   濾波：AD7793的差分輸入用于熱電偶線路上的大部分共模噪聲。例如，將組成差分低通濾波器的R1、R2和C3放置在AD7793的前端，可熱電偶引腳上可能存在的疊加噪聲。C1和C2電容提供額外的共模濾波。由于輸入ADC 的AIN（＋）和AIN（?）均為模擬差分輸入，因此，模擬調制器中的多數(shù)電壓均為共模電壓。AD7793的出色共模抑制（100 dB小值）進一步了這些輸入號中的共模噪聲。   本方案解決的其它難題   下文總結了本解決方案是如何解決前文提到的其它熱電偶相關難題。   熱電偶電壓放大：熱電偶輸出電壓隨溫度的變化幅度只有每度幾μV。本例中所用的常見K型熱電偶變化幅度為41μV/°C。這種弱的號在ADC轉換前需要較高的增益級。 AD7793內部可編程增益放大器（PGA）能夠提供的 增益為128。本解決方案中的增益為16，允許AD7793通過內部基準電壓源運行內部滿量程校準功能。   熱電偶的非線性校正：AD7793在寬溫度范圍（–40°C至 ＋105°C）內具有出色的線性度，不需要用戶校正或校準。為了確定實際熱電偶溫度，必須使用美國 標準技術研究院（NIST）所提供的公式將參考溫度測量值轉換成等效熱電電壓。此電壓與AD7793測量的熱電偶電壓相加，然后再次使用NIST公式將兩者之和再轉換回熱電偶溫度。另一種方法涉及查找表的使用。然而，若要獲得同樣的精度，查找表的大小可能有較大不同，這就需要主機控制器為其分配額外的存儲資源。所有處理均通過EVAL-SDP-CB1Z以軟件方式完成。EVAL-SDP-CB1Z以軟件方式完成。   欲查看完整原理圖和EVAL-CN0172-SDPZ的布局，請參見 CN-0172設計支持包：  zyclxmzsw 常見變化   對于精度要求較低的應用，可用 AD7792 16位Σ-Δ 型ADC 替代 AD7793 24位Σ-Δ 型ADC對于基準溫度測量，可用 ±0.5°C精度的 ADT7310 數(shù)字溫度傳感器替代±0.25°C精度的 ADT7320. AD7792和ADT7310均集成SPI接口。