雙金屬復(fù)合耐磨管具有很好的電學(xué)性質(zhì)和均勻性,測試結(jié)果表明雙金屬復(fù)合耐磨管具有很好的電學(xué)性質(zhì)和均勻性 ,而 PP- SI的均勻性和電學(xué)參數(shù)都很差 .在 IP- SI樣品的 PL譜中出現(xiàn)與深缺陷有關(guān)的熒光峰.光激電流譜的測量結(jié)果表明 :在 IP氣氛下退火獲得的半絕緣磷化銦中的缺陷明顯比 PP- SI磷化銦的要少 .并對退火后磷化銦中形成缺陷的機(jī)理進(jìn)行了探討分析研究了一些缺陷對InP單晶襯底的影響。
     深能級瞬態(tài)譜(DLTS),X射線衍射等方法分別研究了退火前后雙金屬復(fù)合耐磨管材料的性質(zhì)和缺陷.結(jié)果表明受高溫?zé)峒ぐl(fā)作用部分鐵原子由替位轉(zhuǎn)變?yōu)樘钕?導(dǎo)致InP材料缺少深能級補(bǔ)償中心而發(fā)生導(dǎo)電類型轉(zhuǎn)變.通過比較摻雜、擴(kuò)散和離子注入過程Fe原子的占位和情況分析了這一現(xiàn)象的機(jī)理和產(chǎn)生原因. 包括雙金屬復(fù)合耐磨管團(tuán)狀結(jié)構(gòu)位錯的產(chǎn)生及其對晶格完整性的影響,坑狀缺陷、晶片拋光損傷和殘留雜質(zhì)的清洗腐蝕等.對雙金屬復(fù)合耐磨管缺陷的形成原因和抑制途徑進(jìn)行了分析.

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