集成電路被喻為現(xiàn)代工業(yè)的“糧食”，是信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的核心，是支撐經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展和保障 的戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性和先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)，被確定為 戰(zhàn)略先導(dǎo)產(chǎn)業(yè)。 　　經(jīng)過(guò)多年發(fā)展，我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈已具有一定規(guī)模，但是關(guān)鍵器件還依賴國(guó)外進(jìn)口。據(jù)海關(guān)總署數(shù)據(jù)顯示，2017年我國(guó)集成電路進(jìn)口額達(dá)2601億美元，而出口僅為669億美元。 　　受“中興事件”和“中美貿(mào)易戰(zhàn)”的影響，我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展再次成為媒體及行業(yè)關(guān)注的焦點(diǎn)。在進(jìn)一步拉大的集成電路貿(mào)易逆差面前，我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)自主可控的戰(zhàn)略可謂勢(shì)在必行。 　　為減少對(duì)外依賴，提高我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的整體競(jìng)爭(zhēng)力， 和地方政府都在紛紛加碼支持集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展。3月28日，財(cái)政部等四部門發(fā)布了《關(guān)于集成電路生產(chǎn)企業(yè)有關(guān)企業(yè)所得稅政策問(wèn)題的通知》，規(guī)定符合相關(guān)條件的集成電路生產(chǎn)企業(yè)，多可享受“五免五減半”企業(yè)所得稅，為我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供財(cái)政上的支持。 　　繼4月13日河北省財(cái)政廳發(fā)布《轉(zhuǎn)發(fā)關(guān)于集成電路生產(chǎn)企業(yè)有關(guān)企業(yè)所得稅政策問(wèn)題通知》后，5月14日，河北省政府辦公廳發(fā)布《河北省人民政府辦公廳關(guān)于加快集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的實(shí)施意見(jiàn)》，強(qiáng)化對(duì)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的政策支持。 　　2017年9月，杭州市政府印發(fā)《杭州市集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃》，提出“到2020年底，全市集成電路產(chǎn)業(yè)主營(yíng)業(yè)務(wù)收入力爭(zhēng)達(dá)到500億元”的發(fā)展目標(biāo);近日，杭州市政府再次發(fā)布《杭州市進(jìn)一步鼓勵(lì)集成電路產(chǎn)業(yè)加快發(fā)展的專項(xiàng)政策》，進(jìn)一步扶持和鼓勵(lì)集成電路產(chǎn)業(yè)加快發(fā)展。 　　在 和地方政府的強(qiáng)力支持之下，我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)也得到了加快發(fā)展。日前，從 發(fā)展和改革委員會(huì)獲悉，2018年1-5月份，我國(guó)集成電路制造業(yè)投資增長(zhǎng)28.1%。 　　集成電路產(chǎn)業(yè)作為一個(gè)裝備與工藝高度融合的產(chǎn)業(yè)，其設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)、材料設(shè)備等每個(gè)環(huán)節(jié)都至關(guān)重要。因此，在集成電路產(chǎn)業(yè)建設(shè)初期，勢(shì)必為相關(guān)儀器儀表企業(yè)帶來(lái)新的商機(jī)。 　　日前，福建省晉華集成電路有限公司通過(guò)中國(guó)電子進(jìn)出口有限公司進(jìn)行了一系列國(guó)際公開(kāi)競(jìng)爭(zhēng)性招標(biāo)。招標(biāo)產(chǎn)品包括聚焦離子束顯微鏡、球差校正穿透式電子顯微鏡、掃描式電子顯微鏡、電感耦合等離子體串聯(lián)質(zhì)譜儀、全反射X射線熒光分析儀以及其他半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)儀器設(shè)備等，共計(jì)80余包。所招標(biāo)采購(gòu)的儀器設(shè)備將用于新建12吋內(nèi)存晶圓廠生產(chǎn)線FAB1生產(chǎn)線。 　　此外，集成電路產(chǎn)業(yè)在大發(fā)展的同時(shí)，也推動(dòng)了我國(guó)集成電路封裝測(cè)試業(yè)的發(fā)展。7月6日晚，華天科技發(fā)布公告稱，為進(jìn)一步完善產(chǎn)業(yè)布局，擬在南京投資新建集成電路先進(jìn)封測(cè)產(chǎn)業(yè)基地項(xiàng)目。項(xiàng)目總投資80億元，分三期建設(shè)，主要進(jìn)行存儲(chǔ)器、MEMS、人工智能等集成電路產(chǎn)品的封裝測(cè)試。 　　封裝測(cè)試是集成電路產(chǎn)業(yè)鏈必不可少的環(huán)節(jié)，而對(duì)集成電路進(jìn)行封裝測(cè)試，則離不開(kāi)集成電路測(cè)試儀器。集成電路測(cè)試儀器種類很多，包括直流參數(shù)測(cè)試儀、交流參數(shù)測(cè)試儀、功能測(cè)試儀等等。 　　集成電路測(cè)試儀器是對(duì)集成電路進(jìn)行測(cè)試的專用儀器設(shè)備，是保證集成電路性能、質(zhì)量的關(guān)鍵設(shè)備。因此，集成電路測(cè)試儀器在集成電路測(cè)試中受到很多封裝測(cè)試企業(yè)的重視。隨著集成電路封裝測(cè)試業(yè)的發(fā)展，集成電路測(cè)試儀器設(shè)備將迎來(lái)大批量的采購(gòu)需求。 　　另外，集成電路作為儀器儀表的上游產(chǎn)業(yè)，是儀器儀表的重要組成部分，在很多儀器儀表中都會(huì)用到集成電路，可以說(shuō)是儀器儀表設(shè)備的核心器件。因此，集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展不僅能帶動(dòng)對(duì)相關(guān)儀器儀表的需求，也能推動(dòng)儀器儀表設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。 　　集成電路產(chǎn)業(yè)和封裝測(cè)試業(yè)的發(fā)展，為儀器儀表企業(yè)提供了一個(gè)新的發(fā)展商機(jī)。儀器儀表企業(yè)要把握機(jī)遇，提早布局，針對(duì)集成電路的多樣性研發(fā)相應(yīng)的儀器設(shè)備，助力我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

  圖1中的電路專為使用 ADT7320同時(shí)測(cè)量3個(gè)K型熱電偶而設(shè)計(jì)，該器件是一款±0.25°C精度、16位數(shù)字SPI溫度傳感器。   熱電偶電壓測(cè)量   采用熱電偶連接器和濾波器作為熱電偶與AD7793 ADC之間的接口。每個(gè)連接器（J1、J2和J3）都直接與一組差分ADC輸入相連。AD7793輸入端的濾波器可在號(hào)到達(dá)ADC的AIN （＋）和AIN（?）輸入端之前降低任何熱電偶引腳上疊加的噪聲。AD7793集成片內(nèi)多路復(fù)用器、緩沖器和儀表放大器，可放大來(lái)自熱電偶測(cè)量結(jié)點(diǎn)的小電壓號(hào)。   冷結(jié)測(cè)量   ADT7320精密16位數(shù)字溫度傳感器用于測(cè)量基準(zhǔn)結(jié)（冷結(jié)） 溫度，其精度在?20°C至＋105°C溫度范圍內(nèi)可達(dá)±0.25°C。 ADT7320完全經(jīng)過(guò)工廠校準(zhǔn)，用戶無(wú)需自行校準(zhǔn)。它內(nèi)置一個(gè)帶隙溫度基準(zhǔn)源、一個(gè)溫度傳感器和一個(gè)16位Σ-Δ型 ADC， 用來(lái)測(cè)量溫度并進(jìn)行數(shù)字轉(zhuǎn)換， 分辨率為 0.0078°C。   AD7793和ADT7320均利用系統(tǒng)演示平臺(tái) （EVAL-SDP-CB1Z）由SPI接口控制。此外，這兩個(gè)器件也可由控制器控制。   圖2. EVAL-CN0172-SDPZ電路評(píng)估板   圖2顯示帶有3個(gè)K型熱電偶連接器的EVAL-CN0172-SDPZ 電路評(píng)估板，AD7793 ADC， 和ADT7320溫度傳感器安裝在獨(dú)立柔性印刷電路板（PCB）的兩塊銅觸點(diǎn)之間，用于基準(zhǔn)溫度測(cè)量。   圖3是安裝在獨(dú)立柔性PCB上ADT7320 的側(cè)視圖，該器件插在熱電偶連接器的兩個(gè)銅觸點(diǎn)之間。圖3中的柔性PCB更薄更靈活，比小型FR4類PCB更具優(yōu)勢(shì)。它允許將ADT7320巧妙地安裝在熱電偶連接器的銅觸點(diǎn)之間，以盡量降低基準(zhǔn)結(jié)和ADT7320之間的溫度梯度。   圖3. 安裝在柔性PCB上ADT7320的側(cè)視圖   小而薄的柔性PCB還能使ADT7320快速響應(yīng)基準(zhǔn)結(jié)的溫度變化。 圖4顯示ADT7320的典型熱響應(yīng)時(shí)間。   圖4.ADT7320典型熱響應(yīng)時(shí)間   本解決方案較為靈活，允許使用其它類型的熱電偶，如J型或T型。本電路筆記中，選擇K型是考慮到其更受歡迎。實(shí)際選用的熱電偶具有裸露 。測(cè)量結(jié)位于探頭壁（probe wall）之外，暴露在目標(biāo)介質(zhì)中。   采用裸露 的優(yōu)勢(shì)在于，它能提供 的熱傳導(dǎo)率、具有快的響應(yīng)時(shí)間，并且成本低、重量輕。不足之處是容易受到機(jī)械損壞和腐蝕的影響。因此，不適合用于惡劣環(huán)境。但在需要快速響應(yīng)時(shí)間的場(chǎng)合下，裸露 是 選擇。若在工業(yè)環(huán)境中使用裸露 ，則可能需對(duì)號(hào)鏈進(jìn)行電氣隔離?？墒褂脭?shù)字隔離器達(dá)到這一目的 （見(jiàn)   不同于傳統(tǒng)的熱敏電阻或電阻式溫度檢測(cè)器（RTD）， ADT7320是一款完全即插即用型解決方案，無(wú)需在電路板裝配后進(jìn)行多點(diǎn)校準(zhǔn)，也不會(huì)因校準(zhǔn)系數(shù)或線性化程序而消耗處理器或內(nèi)存資源。它在3.3 V電源下工作時(shí)的典型功耗僅為700μW，避免了會(huì)降低傳統(tǒng)電阻式傳感器解決方案精度的自發(fā)熱問(wèn)題。   精密溫度測(cè)量指南   下列指南可確保ADT7320地測(cè)量基準(zhǔn)結(jié)溫度。   電源： 如果ADT7320 從開(kāi)關(guān)電源供電，可能產(chǎn)生50 kHz以上的噪聲，從而影響溫度精度。為了防止此缺陷，應(yīng)在電源和VDD. 之間使用RC濾波器。所用元件值應(yīng)仔細(xì)考慮，確保電源噪聲峰值小于1 mV   去耦： ADT7320必須在盡可能靠近 VDD 的地方安裝去耦電容，以確保溫度測(cè)量的精度。使用諸如0.1μF高頻陶瓷類型的去耦電容。此外，還應(yīng)使用一個(gè)低頻去耦電容與高頻陶瓷電容并聯(lián)，如10μF 至 50 μF 鉭電容。    熱傳導(dǎo)： 塑料封裝和背面的裸露焊盤（GND）是基準(zhǔn)結(jié)至ADT7320的主要熱傳導(dǎo)路徑。由于銅觸點(diǎn)與ADC輸入相連，本應(yīng)用中無(wú)法連接背面的焊盤，因?yàn)檫@樣做會(huì)影響 ADC輸入的偏置。   精密電壓測(cè)量指南   下列指南可確保AD7793地測(cè)量熱電偶測(cè)量結(jié)電壓。   去耦：AD7793必須在盡可能靠近AVDD 和 DVDD 的地方安裝去耦電容，以確保電壓測(cè)量的精度。應(yīng)將0.1 μF陶瓷電容與 10 μF鉭電容并聯(lián)，將AVDD去耦到GND。此外，應(yīng)將0.1 μF 陶瓷電容與10 μF鉭電容并聯(lián)，將DVDD去耦到GND。 更多有關(guān)接地、布局和去耦技巧的討論，請(qǐng)參考Tutorial MT-031 和 Tutorial MT-101   濾波：AD7793的差分輸入用于熱電偶線路上的大部分共模噪聲。例如，將組成差分低通濾波器的R1、R2和C3放置在AD7793的前端，可熱電偶引腳上可能存在的疊加噪聲。C1和C2電容提供額外的共模濾波。由于輸入ADC 的AIN（＋）和AIN（?）均為模擬差分輸入，因此，模擬調(diào)制器中的多數(shù)電壓均為共模電壓。AD7793的出色共模抑制（100 dB小值）進(jìn)一步了這些輸入號(hào)中的共模噪聲。   本方案解決的其它難題   下文總結(jié)了本解決方案是如何解決前文提到的其它熱電偶相關(guān)難題。   熱電偶電壓放大：熱電偶輸出電壓隨溫度的變化幅度只有每度幾μV。本例中所用的常見(jiàn)K型熱電偶變化幅度為41μV/°C。這種弱的號(hào)在ADC轉(zhuǎn)換前需要較高的增益級(jí)。 AD7793內(nèi)部可編程增益放大器（PGA）能夠提供的 增益為128。本解決方案中的增益為16，允許AD7793通過(guò)內(nèi)部基準(zhǔn)電壓源運(yùn)行內(nèi)部滿量程校準(zhǔn)功能。   熱電偶的非線性校正：AD7793在寬溫度范圍（–40°C至 ＋105°C）內(nèi)具有出色的線性度，不需要用戶校正或校準(zhǔn)。為了確定實(shí)際熱電偶溫度，必須使用美國(guó) 標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院（NIST）所提供的公式將參考溫度測(cè)量值轉(zhuǎn)換成等效熱電電壓。此電壓與AD7793測(cè)量的熱電偶電壓相加，然后再次使用NIST公式將兩者之和再轉(zhuǎn)換回?zé)犭娕紲囟取Ａ硪环N方法涉及查找表的使用。然而，若要獲得同樣的精度，查找表的大小可能有較大不同，這就需要主機(jī)控制器為其分配額外的存儲(chǔ)資源。所有處理均通過(guò)EVAL-SDP-CB1Z以軟件方式完成。EVAL-SDP-CB1Z以軟件方式完成。   欲查看完整原理圖和EVAL-CN0172-SDPZ的布局，請(qǐng)參見(jiàn) CN-0172設(shè)計(jì)支持包：  zyclxmzsw 常見(jiàn)變化   對(duì)于精度要求較低的應(yīng)用，可用 AD7792 16位Σ-Δ 型ADC 替代 AD7793 24位Σ-Δ 型ADC對(duì)于基準(zhǔn)溫度測(cè)量，可用 ±0.5°C精度的 ADT7310 數(shù)字溫度傳感器替代±0.25°C精度的 ADT7320. AD7792和ADT7310均集成SPI接口。